Entwicklung Von Verfahren Zur Atomlagenabscheidung Von Leitfahigen Tantalnitrid-Basierten Dunnschichten

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9783849574468
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9783849574468

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ISBN: 9783849574468
TITLE: Entwicklung Von Verfahren Zur Atomlagenabscheidung Von Leitfahigen Tantalnitrid-Basierten Dunnschichten
AUTHOR: Christoph Hossbach
PUBLISHER: Tredition Gmbh
PUBLISHER DATE: 17 Mar 2014

Other Details

ISBN:
9783849574468
Author:
Christoph Hossbach
Publisher:
Tredition Gmbh
Publisher Date:
17 Mar 2014
Book Format:
Paperback