Product Description
ISBN: 9783849574468
TITLE: Entwicklung Von Verfahren Zur Atomlagenabscheidung Von Leitfahigen Tantalnitrid-Basierten Dunnschichten
AUTHOR: Christoph Hossbach
PUBLISHER: Tredition Gmbh
PUBLISHER DATE: 17 Mar 2014
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ISBN: 9783849574468
TITLE: Entwicklung Von Verfahren Zur Atomlagenabscheidung Von Leitfahigen Tantalnitrid-Basierten Dunnschichten
AUTHOR: Christoph Hossbach
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